// 内层蚀刻2
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    title: '退膜3频率-实时值 Hz',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName86',
    dataIndex: 'itemName86',
    width: 170,
    title: '酸洗频率-设置值 Hz',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName87',
    dataIndex: 'itemName87',
    width: 170,
    title: '酸洗频率-实时值 Hz',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName88',
    dataIndex: 'itemName88',
    width: 200,
    title: '强风吹干频率-设置值 Hz',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName89',
    dataIndex: 'itemName89',
    width: 200,
    title: '强风吹干频率-实时值 Hz',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName90',
    dataIndex: 'itemName90',
    width: 200,
    title: '显影1A上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName91',
    dataIndex: 'itemName91',
    width: 200,
    title: '显影1A下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName92',
    dataIndex: 'itemName92',
    width: 200,
    title: '显影1B上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName93',
    dataIndex: 'itemName93',
    width: 200,
    title: '显影1B下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName94',
    dataIndex: 'itemName94',
    width: 200,
    title: '显影2A上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName95',
    dataIndex: 'itemName95',
    width: 200,
    title: '显影2A下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName96',
    dataIndex: 'itemName96',
    width: 200,
    title: '显影2B上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName97',
    dataIndex: 'itemName97',
    width: 200,
    title: '显影2B下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName98',
    dataIndex: 'itemName98',
    width: 200,
    title: '新液洗上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName99',
    dataIndex: 'itemName99',
    width: 200,
    title: '新液洗下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName100',
    dataIndex: 'itemName100',
    width: 240,
    title: '显影1A喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName101',
    dataIndex: 'itemName101',
    width: 240,
    title: '显影1A喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName102',
    dataIndex: 'itemName102',
    width: 240,
    title: '显影1B喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName103',
    dataIndex: 'itemName103',
    width: 240,
    title: '显影1B喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName104',
    dataIndex: 'itemName104',
    width: 240,
    title: '显影2A喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName105',
    dataIndex: 'itemName105',
    width: 240,
    title: '显影2A喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName106',
    dataIndex: 'itemName106',
    width: 240,
    title: '显影2B喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName107',
    dataIndex: 'itemName107',
    width: 240,
    title: '显影2B喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName108',
    dataIndex: 'itemName108',
    width: 200,
    title: '蚀刻1射流泵压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName109',
    dataIndex: 'itemName109',
    width: 200,
    title: '蚀刻2射流泵压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName110',
    dataIndex: 'itemName110',
    width: 200,
    title: '蚀刻3射流泵压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName111',
    dataIndex: 'itemName111',
    width: 200,
    title: '蚀刻4射流泵压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName112',
    dataIndex: 'itemName112',
    width: 200,
    title: '蚀刻5射流泵压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName113',
    dataIndex: 'itemName113',
    width: 200,
    title: '蚀刻6射流泵压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName114',
    dataIndex: 'itemName114',
    width: 200,
    title: '补偿蚀刻压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName115',
    dataIndex: 'itemName115',
    width: 240,
    title: '蚀刻1上喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName116',
    dataIndex: 'itemName116',
    width: 240,
    title: '蚀刻1上喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName117',
    dataIndex: 'itemName117',
    width: 240,
    title: '蚀刻1下喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName118',
    dataIndex: 'itemName118',
    width: 240,
    title: '蚀刻1下喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName119',
    dataIndex: 'itemName119',
    width: 240,
    title: '蚀刻2上喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName120',
    dataIndex: 'itemName120',
    width: 240,
    title: '蚀刻2上喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName121',
    dataIndex: 'itemName121',
    width: 240,
    title: '蚀刻2下喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName122',
    dataIndex: 'itemName122',
    width: 240,
    title: '蚀刻2下喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName123',
    dataIndex: 'itemName123',
    width: 240,
    title: '蚀刻3上喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName124',
    dataIndex: 'itemName124',
    width: 240,
    title: '蚀刻3上喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName125',
    dataIndex: 'itemName125',
    width: 240,
    title: '蚀刻3下喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName126',
    dataIndex: 'itemName126',
    width: 240,
    title: '蚀刻3下喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName127',
    dataIndex: 'itemName127',
    width: 240,
    title: '蚀刻4上喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName128',
    dataIndex: 'itemName128',
    width: 240,
    title: '蚀刻4上喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName129',
    dataIndex: 'itemName129',
    width: 240,
    title: '蚀刻4下喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName130',
    dataIndex: 'itemName130',
    width: 240,
    title: '蚀刻4下喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName131',
    dataIndex: 'itemName131',
    width: 240,
    title: '蚀刻5上喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName132',
    dataIndex: 'itemName132',
    width: 240,
    title: '蚀刻5上喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName133',
    dataIndex: 'itemName133',
    width: 240,
    title: '蚀刻5下喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName134',
    dataIndex: 'itemName134',
    width: 240,
    title: '蚀刻5下喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName135',
    dataIndex: 'itemName135',
    width: 240,
    title: '蚀刻6上喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName136',
    dataIndex: 'itemName136',
    width: 240,
    title: '蚀刻6上喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName137',
    dataIndex: 'itemName137',
    width: 240,
    title: '蚀刻6下喷淋压力-设置值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName138',
    dataIndex: 'itemName138',
    width: 240,
    title: '蚀刻6下喷淋压力-实时值 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName139',
    dataIndex: 'itemName139',
    width: 170,
    title: '溢流水洗23导电率 μS/cm',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName140',
    dataIndex: 'itemName140',
    width: 170,
    title: '退模1上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName141',
    dataIndex: 'itemName141',
    width: 170,
    title: '退模1下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName142',
    dataIndex: 'itemName142',
    width: 170,
    title: '退模2上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName143',
    dataIndex: 'itemName143',
    width: 170,
    title: '退模2下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName144',
    dataIndex: 'itemName144',
    width: 170,
    title: '退模3上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName145',
    dataIndex: 'itemName145',
    width: 170,
    title: '退模3下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName146',
    dataIndex: 'itemName146',
    width: 170,
    title: '强风吹干1压力 kPa',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName147',
    dataIndex: 'itemName147',
    width: 170,
    title: '强风吹干2压力 kPa',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName148',
    dataIndex: 'itemName148',
    width: 170,
    title: '强风吹干3压力 kPa',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName149',
    dataIndex: 'itemName149',
    width: 170,
    title: '酸洗上压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName150',
    dataIndex: 'itemName150',
    width: 170,
    title: '酸洗下压力 kgf/cm2',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName151',
    dataIndex: 'itemName151',
    width: 170,
    title: '开机时间累积（显影） h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName152',
    dataIndex: 'itemName152',
    width: 170,
    title: '运行时间累积（显影） h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName153',
    dataIndex: 'itemName153',
    width: 200,
    title: '批次产量累积（显影） PNL',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName154',
    dataIndex: 'itemName154',
    width: 200,
    title: '总产量累积（显影） PNL',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName155',
    dataIndex: 'itemName155',
    width: 200,
    title: '用电量累积（显影） kW·h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName156',
    dataIndex: 'itemName156',
    width: 220,
    title: '用水量累积(自来水)（显影） m3',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName157',
    dataIndex: 'itemName157',
    width: 200,
    title: '开机时间累积（蚀刻） h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName158',
    dataIndex: 'itemName158',
    width: 200,
    title: '运行时间累积（蚀刻） h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName159',
    dataIndex: 'itemName159',
    width: 200,
    title: '批次产量累积（蚀刻） PNL',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName160',
    dataIndex: 'itemName160',
    width: 200,
    title: '总产量累积（蚀刻） PNL',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName161',
    dataIndex: 'itemName161',
    width: 240,
    title: '用水量累积(自来水)（蚀刻） m3',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName162',
    dataIndex: 'itemName162',
    width: 170,
    title: '开机时间累积（退模） h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName163',
    dataIndex: 'itemName163',
    width: 170,
    title: '运行时间累积（退模） h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName164',
    dataIndex: 'itemName164',
    width: 200,
    title: '批次产量累积（退模） PNL',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName165',
    dataIndex: 'itemName165',
    width: 200,
    title: '总产量累积（退模） PNL',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName166',
    dataIndex: 'itemName166',
    width: 200,
    title: '用电量累积（退模） kW·h',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'itemName167',
    dataIndex: 'itemName167',
    width: 220,
    title: '用水量累积(自来水)（退模） m3',
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  },
  {
    key: 'dateTime',
    dataIndex: 'dateTime',
    title: '创建时间',
    width: 150,
    align: 'center',
    checked: true,
    ellipsis: true
  }
];
